中圖儀器廣東光學輪廓儀用于精密器件及材料表面的亞納米級測量的光學檢測儀器。可廣泛應用于微機電、為納米材料、光學加工、超精密加工、3C電子、半導體等行業中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數的測量和分析。
中圖儀器廣東光學輪廓儀采用白光軸向色差原理，利用白光干涉掃描技術為基礎研制而成，是一種用于對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器，它的特點是可以達到納米級的檢測精度。操作過程只需要操作者裝好被測工件，在軟件里設好視場參數，把物鏡調節到被測工件表面，選擇自動聚焦后，儀器就會主動找干涉條紋開始掃描測量。然后自動生成工件表面3D圖像，一鍵輸出反映工件表面質量的2D、3D參數，完成工件表面形貌一鍵測量。
數秒內，可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。“見一葉而知深秋，窺一斑而見全豹” 這句話用來形容中圖儀器在超精密加工顯微測量場景中發揮的作用恰如其分。
技術參數
產品型號：SuperView W1系列
產品名稱：光學3D表面輪廓儀
影像系統：1024×1024
光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）
干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）
XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋
Z軸行程：100mm，電動
Z向掃描范圍：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平調整：±5°手動
粗糙度RMS重復性：0.005nm
臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ
主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高
生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司
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